Vaakumkatmismasina tööpõhimõte

Vaakumkatmismasin on seade, mis sadestab aluspinna pinnale metallist õhukesi kilesid. Selle tööpõhimõte on jagatud kolmeks etapiks: puhastamine, aurustamine ja sadestamine.
1. Puhastamine
Enne aurustamise sadestamist tuleb aurustuskamber puhastada. Kuna aurustuskambri pinnale võib olla oksiide, rasva, tolmu ja muid aineid, mõjutavad need kile kvaliteeti. Puhastamisel kasutatakse tavaliselt keemilisi või füüsikalisi meetodeid.
2. aurustumine
Soovitud materjali kuumutatakse üle selle sulamistemperatuuri, nii et sellest moodustuvad gaasilised molekulid. Seejärel juhitakse gaasilised molekulid vaakumkambris aurustuskambrisse. Seda protsessi nimetatakse aurustumiseks. Temperatuur, rõhk ja aurustumiskiirus mõjutavad kile koostist, struktuuri ja omadusi.
3. Ladestumine
Aurustuskambris oleva materjali gaasilised molekulid sisenevad vaakumtoru kaudu reaktsioonikambrisse, reageerivad aktiivse materjaliga ja sadestavad seejärel toote substraadi pinnale. Seda protsessi nimetatakse settimiseks. Temperatuur, rõhk ja sadestuskiirus mõjutavad ka kile kvaliteeti ja jõudlust.
2. Rakendus
Vaakumkatmismasinaid kasutatakse laialdaselt materjaliteaduses, optikas, elektroonikas ja muudes valdkondades.
1. Materjaliteadus
Vaakumkatmismasinad võivad valmistada mitmesugustest metallidest, sulamitest, oksiididest, silikaatidest ja muudest materjalidest õhukesi kilesid ning neid kasutatakse laialdaselt katetes, optilistes kiledes, optilistes salvestusseadmetes, kuvarites, transistorides ja muudes valdkondades.
2. Optika
Vaakumkatmismasin suudab valmistada suure peegeldusvõimega metall- ja sulamikilesid ning erifunktsioonidega optilisi kilesid. Neid kilesid saab kasutada päikesepaneelides, suure jõudlusega elektronmikroskoopides, aerogeelides, UV/IR andurites, optilistes filtrites ja muudes valdkondades.
3. Elektroonika
Vaakumkatmismasinad võivad valmistada nanomõõtmelisi elektroonilisi materjale ja mikroelektroonilisi seadmeid. Neid kilesid saab kasutada nanotransistorides, magnetmäludes, andurites ja muudes väljades.
Lühidalt, vaakumkatmismasin ei saa mitte ainult valmistada erinevaid õhukese kile materjale, vaid ka valmistada vastavalt vajadusele spetsiaalsete funktsioonidega õhukesi kilesid. Tulevikus hakatakse vaakumkatte tehnoloogiat laialdasemalt kasutama ja propageerima.